Ilana gaasi pataki ti a lo ninu ilana iṣelọpọ TFT-LCD ilana ilana ilana CVD: silane (S1H4), amonia (NH3), phosphorne (pH3), ẹrín (N2O), NF3, ati bẹbẹ lọ, ati ni afikun si ilana ilana Iwa mimọ giga. hydrogen ati nitrogen mimọ giga ati awọn gaasi nla miiran.Argon gaasi ti wa ni lilo ninu awọn sputtering ilana, ati awọn sputtering film gaasi ni akọkọ awọn ohun elo ti sputtering.Ni akọkọ, gaasi ti o ṣẹda fiimu naa ko le ṣe idahun kemikali pẹlu ibi-afẹde, ati gaasi ti o dara julọ jẹ gaasi inert.A o tobi iye ti pataki gaasi yoo tun ṣee lo ninu awọn etching ilana, ati awọn ẹrọ itanna gaasi pataki jẹ okeene flammable ati awọn ibẹjadi, ati awọn gíga majele ti gaasi, ki awọn ibeere fun awọn gaasi ona ni o wa ga.Imọ-ẹrọ Wofly ṣe amọja ni apẹrẹ ati fifi sori ẹrọ ti awọn ọna gbigbe mimọ giga giga.
Awọn gaasi pataki ni a lo ni akọkọ ni ile-iṣẹ LCD lati ṣe fiimu ati awọn ilana gbigbẹ.Iboju kirisita omi ti o ni ọpọlọpọ ti isọdi, nibiti TFT-LCD ti yara, didara aworan jẹ giga, ati pe idiyele ti dinku ni diėdiė, ati pe imọ-ẹrọ LCD ti o gbajumo julọ ni lilo lọwọlọwọ.Ilana iṣelọpọ ti nronu TFT-LCD ni a le pin si awọn ipele pataki mẹta: ọna iwaju, ilana iṣalaye agbedemeji (CELL), ati ilana apejọ module post-ipele.Gaasi pataki ti itanna jẹ lilo ni akọkọ si iṣelọpọ fiimu ati ipele gbigbẹ ti ilana ilana iṣaju iṣaaju, ati fiimu SiNX ti kii ṣe irin ati ẹnu-ọna kan, orisun, sisan ati ITO ti wa ni ipamọ, lẹsẹsẹ, ati fiimu irin bii ẹnu-ọna, orisun,drainandITO.
Nitrogen / Atẹgun / Argon Irin Alagbara Irin 316 Ologbele-laifọwọyi Changeover Gas Conrol Panel
Akoko ifiweranṣẹ: Jan-13-2022