Imọ-ẹrọ fifin gaasi ti o ga julọ jẹ apakan pataki ti eto ipese gaasi mimọ-giga, eyiti o jẹ imọ-ẹrọ bọtini lati ṣafipamọ gaasi mimọ-giga ti o nilo si aaye lilo ati tun ṣetọju didara ti o peye;Imọ-ẹrọ fifin gaasi mimọ-giga pẹlu apẹrẹ ti o pe ti eto, yiyan awọn ohun elo ati awọn ẹya ẹrọ, ikole ati fifi sori ẹrọ, ati idanwo.Ni awọn ọdun aipẹ, awọn ibeere ti o muna ti o pọ si lori mimọ ati akoonu aimọ ti awọn gaasi mimọ-giga ni iṣelọpọ ti awọn ọja microelectronics ti o jẹ aṣoju nipasẹ awọn iyika iṣọpọ iwọn nla ti jẹ ki imọ-ẹrọ fifin ti awọn gaasi mimọ-giga ni ibakcdun ati tẹnumọ.Atẹle jẹ awotẹlẹ kukuru ti fifin gaasi mimọ-giga lati yiyan ohun eloof ikole, bakanna bi gbigba ati iṣakoso ojoojumọ.
Awọn oriṣi ti awọn gaasi ti o wọpọ
Pipin ti awọn gaasi ti o wọpọ ni ile-iṣẹ itanna:
Awọn gaasi ti o wọpọ(gaasi olopobobo): hydrogen (H2), nitrogen (N2), atẹgun (O2), argon (A2), ati be be lo.
Awọn gaasi patakijẹ SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,Iye owo ti HBR SF6…… ati be be lo.
Awọn oriṣi ti awọn gaasi pataki ni gbogbogbo le jẹ ipin bi ibajẹgaasi, majelegaasi, flammablegaasi, ijonagaasi, inertgaasi, bbl
(i) Ibajẹ / majelegaasi: HCl, BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3…ati be be lo.
(ii) flammabilitygaasi: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO… ati bẹbẹ lọ.
(iii) ijonagaasi: O2, Cl2, N2O, NF3… etc.
(iv) Inertgaasi: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, Oun...ati be be lo.
Ọpọlọpọ awọn gaasi semikondokito jẹ ipalara si ara eniyan.Ni pato, diẹ ninu awọn gaasi wọnyi, gẹgẹbi SiH4 ijona lẹẹkọkan, niwọn igba ti jijo kan yoo ṣe ni agbara pẹlu atẹgun ninu afẹfẹ ati bẹrẹ lati jo;ati ASH3majele ti o ga, eyikeyi jijo diẹ le fa eewu ti igbesi aye eniyan, o jẹ nitori awọn ewu ti o han gbangba, nitorinaa awọn ibeere fun aabo ti apẹrẹ eto jẹ giga julọ.
Ohun elo dopin ti ategun
Gẹgẹbi ohun elo aise pataki ti ile-iṣẹ ode oni, awọn ọja gaasi ni lilo pupọ, ati nọmba nla ti awọn gaasi ti o wọpọ tabi awọn gaasi pataki ni a lo ni irin, irin, epo, ile-iṣẹ kemikali, ẹrọ, ẹrọ itanna, gilasi, awọn ohun elo amọ, awọn ohun elo ile, ikole , ounje processing, oogun ati egbogi apa.Ohun elo gaasi ni ipa pataki lori imọ-ẹrọ giga ti awọn aaye wọnyi ni pataki, ati pe o jẹ gaasi ohun elo aise ko ṣe pataki tabi gaasi ilana.Nikan pẹlu awọn iwulo ati igbega ti ọpọlọpọ awọn apa ile-iṣẹ tuntun ati imọ-jinlẹ ati imọ-ẹrọ ode oni, awọn ọja ile-iṣẹ gaasi le ni idagbasoke nipasẹ fifo ati awọn aala ni awọn ofin ti ọpọlọpọ, didara ati opoiye.
Ohun elo Gaasi ni microelectronics ati ile-iṣẹ semikondokito
Lilo gaasi nigbagbogbo ti ṣe ipa pataki ninu ilana semikondokito, paapaa ilana semikondokito ti ni lilo pupọ ni ọpọlọpọ awọn ile-iṣẹ, lati ULSI ti aṣa, TFT-LCD si ile-iṣẹ micro-electro-mechanical (MEMS) lọwọlọwọ, gbogbo eyiti o lo ilana ti a pe ni semikondokito bi ilana iṣelọpọ ti awọn ọja.Iwa-mimọ ti gaasi ni ipa ipinnu lori iṣẹ ti awọn paati ati awọn eso ọja, ati aabo ti ipese gaasi jẹ ibatan si ilera ti oṣiṣẹ ati aabo awọn iṣẹ ọgbin.
Pataki ti fifi ọpa-mimọ giga ni gbigbe gaasi mimọ-giga
Ninu ilana ti irin alagbara irin yo ati ṣiṣe awọn ohun elo, nipa 200g ti gaasi le ti wa ni gba fun toonu.Lẹhin awọn processing ti irin alagbara, irin, ko nikan awọn oniwe-dada alalepo pẹlu orisirisi contaminants, sugbon tun ni awọn oniwe-irin lattice tun gba kan awọn iye ti gaasi.Nigbati ṣiṣan afẹfẹ ba wa nipasẹ opo gigun ti epo, irin ti o gba apakan yii ti gaasi yoo tun wọ inu ṣiṣan afẹfẹ, ti n ba gaasi mimọ.Nigbati ṣiṣan afẹfẹ ninu tube jẹ sisan ti o dawọ duro, tube naa n gbe gaasi naa labẹ titẹ, ati nigbati ṣiṣan afẹfẹ ba duro lati kọja, gaasi ti tube ti a ṣe nipasẹ tube fọọmu kan ju titẹ silẹ lati yanju, ati gaasi ti o yanju tun wọ gaasi mimọ ninu tube naa. bi impurities.Ni akoko kanna, adsorption ati ipinnu ni a tun ṣe, ki irin ti o wa lori inu inu tube naa tun nmu iye kan ti lulú, ati awọn patikulu eruku irin yii tun ṣe ibajẹ gaasi mimọ inu tube naa.Iwa yii ti tube jẹ pataki lati rii daju pe mimọ ti gaasi gbigbe, eyiti o nilo kii ṣe irọrun ti o ga pupọ ti inu inu ti tube, ṣugbọn o tun jẹ idiwọ wiwọ giga.
Nigbati a ba lo gaasi pẹlu iṣẹ ipata to lagbara, awọn paipu irin alagbara, irin ti ko ni ipata gbọdọ ṣee lo fun fifin.Bibẹẹkọ, paipu naa yoo ṣe awọn aaye ipata lori inu inu nitori ibajẹ, ati ni awọn ọran to ṣe pataki, agbegbe nla yoo wa ti yiyọ irin tabi paapaa perforation, eyiti yoo jẹ ibajẹ gaasi mimọ lati pin.
Isopọ ti mimọ-giga ati gbigbe gaasi mimọ-giga ati awọn opo gigun ti pinpin ti awọn oṣuwọn sisan nla.
Ni opo, gbogbo wọn jẹ welded, ati pe awọn tubes ti a lo ni a nilo lati ko ni iyipada ninu eto nigbati a ba lo alurinmorin.Awọn ohun elo pẹlu akoonu erogba ga ju jẹ koko-ọrọ si agbara afẹfẹ ti awọn ẹya welded nigba alurinmorin, eyiti o jẹ ki ilaluja ti awọn gaasi inu ati ita paipu ati ba mimọ, gbigbẹ ati mimọ ti gaasi ti a tan, ti o yọrisi isonu ti gbogbo akitiyan wa.
Ni akojọpọ, fun gaasi mimọ-giga ati opo gigun ti gbigbe gaasi pataki, o jẹ dandan lati lo itọju pataki kan ti paipu irin alagbara ti o ga julọ, lati ṣe eto opo gigun ti o ga (pẹlu awọn paipu, awọn ohun elo, awọn falifu, VMB, VMP) ni ga-mimọ gaasi pinpin wa lagbedemeji a pataki ise.
Imọye gbogbogbo ti imọ-ẹrọ mimọ fun gbigbe ati awọn opo gigun ti pinpin
Gbigbe ara gaasi mimọ ati mimọ pẹlu fifi ọpa tumọ si pe awọn ibeere kan wa tabi awọn idari fun awọn apakan mẹta ti gaasi lati gbe.
Iwa mimọ gaasi: Akoonu ti oju-aye aimọ ni mimọ gGas: Akoonu ti oju-aye aimọ ninu gaasi, nigbagbogbo ti a fihan bi ipin kan ti mimọ gaasi, gẹgẹbi 99.9999%, tun ṣe afihan bi ipin iwọn didun ti akoonu oju-aye aimọ ppm, ppb, ppt.
Gbigbe: iye ọrinrin itọpa ninu gaasi, tabi iye ti a npe ni tutu, nigbagbogbo ti a fihan ni awọn ofin ti aaye ìri, gẹgẹbi aaye ìrì titẹ oju-aye -70.C.
Iwa mimọ: nọmba awọn patikulu idoti ti o wa ninu gaasi, iwọn patiku ti µm, iye awọn patikulu / M3 lati ṣafihan, fun afẹfẹ fisinuirindigbindigbin, nigbagbogbo tun ṣafihan ni awọn ofin ti iye mg/m3 ti awọn iyoku to lagbara ti ko ṣeeṣe, eyiti o bo akoonu epo .
Pipin iwọn idoti: awọn patikulu idoti, nipataki tọka si scouring opo gigun ti epo, wọ, ipata ti ipilẹṣẹ nipasẹ awọn patikulu irin, awọn patikulu soot ti oju aye, ati awọn microorganisms, phages ati ọrinrin ti o ni gaasi condensation droplets, ati bẹbẹ lọ, ni ibamu si iwọn iwọn patiku rẹ. ti pin si
a) Awọn patikulu nla - iwọn patiku loke 5μm
b) Patiku - iwọn ila opin ohun elo laarin 0.1μm-5μm
c) Ultra-micro patikulu – patiku iwọn kere ju 0.1μm.
Lati le mu ohun elo ti imọ-ẹrọ yii pọ si, lati ni anfani lati ni oye oye ti iwọn patiku ati awọn ẹya μm, ṣeto ti ipo patiku kan pato ti pese fun itọkasi
Awọn atẹle jẹ afiwe awọn patikulu kan pato
| Orukọ / Iwọn apakan (µm) | Orukọ / Iwọn apakan (µm) | Orukọ / Iwọn patikulu (µm) |
| Kokoro 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Aerosolized microdroplet 1-12 |
| Epo iparun 0.01-0.1 | Kun 0.1-6 | Fly eeru 1-200 |
| Erogba dudu 0.01-0.3 | Wara lulú 0.1-10 | Ipakokoropaeku 5-10 |
| Resini 0.01-1 | Awọn kokoro arun 0.3-30 | eruku simenti 5-100 |
| Ẹfin siga 0.01-1 | Ekuru iyanrin 0.5-5 | eruku adodo 10-15 |
| Silikoni 0.02-0.1 | Ipakokoropaeku 0.5-10 | Irun eniyan 50-120 |
| Crystallized iyọ 0.03-0.5 | Ekuru imi-ọjọ ti o ni idojukọ 1-11 | Iyanrin okun 100-1200 |
Akoko ifiweranṣẹ: Jun-14-2022