A ṣe iranlọwọ fun agbaye ti o dagba lati ọdun 1983

Awọn ipinnu imọ-ẹrọ fun awọn ọna ifijiṣẹ gaasi giga-giga fun awọn ilana Semiciovector

Imọ-ẹrọ gaasi giga-mimọ jẹ apakan pataki ti eto ipese gaasi giga ti o ga, eyiti o jẹ imọ-ẹrọ pataki lati fi gaasi giga ti o nilo si aaye ati tun ṣetọju didara ti o lagbara; Imọ-ẹrọ gaasi giga-giga pẹlu apẹrẹ ti o pe ti eto, yiyan ti awọn ika ati awọn ẹya ẹrọ, ikosile, ati idanwo. Ni awọn ọdun aipẹ, awọn ibeere ti o ni agbara pupọ lori mimọ ati isọsi ti awọn iṣuri giga ti awọn ọja ti o ga julọ ti ṣe imọ-ẹrọ pipinctroctronic ti ṣe imọ-ẹrọ mimọ ti awọn gaasi giga ti o ga pupọ ati tẹnumọ. Atẹle naa jẹ ifasilẹ kukuru ti pipin gaasi giga-giga lati yiyan ohun eloof ikole, bi itẹwọgba ati iṣakoso ojoojumọ.

Awọn oriṣi awọn ategun ti o wọpọ

Pinpin awọn ategun ti o wọpọ ninu ile-iṣẹ itanna:

Ategun ti o wọpọ(Gaasi olopo): hydrogen (h2), nitrogen (n2), Oxygen (o2), argon (a2), bbl

Awọn ategun patakijẹ sih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,Han,CF4 ,NH3,Pocl3, Sih2l2 Sihl3,NH3,  Bर3 ,Sif4 ,CLF3 ,Ifi cou,C2F6, N2O,F2,Hf,Hbr sf6...... ati bẹbẹ lọ

Awọn oriṣi awọn ategun pataki le jẹ ipinfunni nigbagbogboafẹfẹ, majeleafẹfẹ, Flammableafẹfẹ, idapọmọraafẹfẹ, Interafẹfẹ, bbl. Awọn ategun semicidonctor semitos ti a lo nigbagbogbo ni a ti sọ di gbogbogbo gẹgẹbi atẹle.

(i) candive / majeleafẹfẹ: HCL, BF3, Wf6, HBR, Sih2Cl2, NH3, PH3, CL2, Bcl3... ati bẹbẹ lọ.

(ii) Ipasẹafẹfẹ: H2, Ch4, Sih4, PH3, Ash3, Sih2Cl2, B2H6, Ch2F2,Ch3F, Co ... ati bẹbẹ lọ.

(iii) Coversityafẹfẹ: O2, CL2, N2O, nf3... ati bẹbẹ lọ

(iv) inertafẹfẹ: N2, Cf4, C2F6, C4F8,Sf6, Co2, Ne, Kr, o ... ati bẹbẹ lọ.

Ọpọlọpọ awọn akinpasi-semimicalctor jẹ ipalara si ara eniyan. Ni pataki, diẹ ninu awọn ategun wọnyi, gẹgẹ bi sih4 Ibarapọ apapọ, niwọn igba ti o ba ti jade ni lile pẹlu atẹgun ninu afẹfẹ ati bẹrẹ lati jo; ati eeru3Awọn majele ti o gaju, eyikeyi fifiweji diẹ le fa ewu ti igbesi aye eniyan, o jẹ nitori pe awọn ewu ti o han gbangba, nitorinaa awọn ibeere fun aabo ti apẹrẹ eto jẹ ga julọ.

Ohun elo ohun elo ti ategun  

Gẹgẹbi awọn ohun elo ipilẹ ti o ṣe pataki ti ile-iṣẹ odede, awọn ọja gaasi ni lilo pupọ, ati awọn atejade pataki, ikoledanu, ikole ati awọn apakan egbogi. Ohun elo gaasi ni ipa pataki lori imọ-ẹrọ giga ti awọn aaye wọnyi ni pataki, ati pe gaasi aisedede aisedede tabi gaasi ilana. Nikan pẹlu awọn aini ati igbega ti awọn apa ile-iṣẹ tuntun ati imọ-ẹrọ tuntun ati imọ-ẹrọ, awọn ọja ile-iṣẹ gaasi ati awọn aala ni awọn ofin ti awọn oriṣiriṣi, didara.

Ohun elo gaasi ni microelictronication ati ile-iṣẹ semiconctorctor

Lilo gaasi ti ṣe ipa pataki ninu ilana iṣeeṣe, paapaa UlSI Semicioutctorctor, lati awọn ile-iṣẹ semimitorctory lọwọlọwọ (maale-LCD si ilana ti o wa lọwọlọwọ bi ilana iṣelọpọ ti awọn ọja. Wiwọn gaasi ni ikolu ipinnu lori iṣẹ ti awọn paati ati awọn ipese ọja, ati aabo ipese gaasi ni ibatan si ilera ti awọn oṣiṣẹ ati aabo ti awọn iṣẹ ọgbin.

Pataki ti pipinmọ mimọ ti o ga julọ ni gbigbe gaasi giga

Ninu ilana ti malt irin alagbara, irin ati ṣiṣe awọn ohun elo, nipa 200G ti gaasi le gba ni pupọ. Lẹhin sisẹ irin alagbara, kii ṣe alalepo ilẹ nikan pẹlu ọpọlọpọ awọn eegun, ṣugbọn tun ni idamẹta irin rẹ pẹlu gbigba iye gaasi kan. Nigbati a ba wa ni atẹgun nipasẹ opo gigun ti epo, awọn irin yiyọ apakan yii apakan gaasi yoo tun-tẹ laini atẹgun, idoti gaasi mimọ. Nigbati a ba sinu tube jẹ idilọwọ ṣiṣan gaasi, ati nigbati gaasi duro si lati yanju a epo mimọ bi awọn impurities. Ni akoko kanna, akojọ Asopọ ati ipinnu ti wa ni tun, pe irin ti wa ni inu tube tun fun iye funfun, ati irin awọn ohun-iṣere irin eruku ni inu inu inu tube. Iwa yii ti tube jẹ pataki lati rii daju pe gaasi ti gbigbe ti gaasi ti o gbe, eyiti o nilo kii ṣe asọ ti o ga pupọ ti tube ti inu, ṣugbọn tun wọ inu rẹ.

Nigbati gaasi pẹlu iṣẹ corroosive ti o lagbara ni a lo, awọn pipa irin alagbara, irin gbọdọ ṣee lo fun piping. Bibẹẹkọ, paipu yoo gbe awọn aaye ọkọ ofurufu sori ilẹ inu, ati ni awọn ọran ti o tobi, agbegbe nla ti ṣiṣan irin tabi pipe ni yoo ṣe kaakiri gaasi mimọ lati pin.

Isopọ ti mimọ-mimọ ati mimu-omi gaasi giga ati pinpin pipin ni awọn oṣuwọn sisan nla.

Ni opo, gbogbo wọn wa ni ẹẹdi, ati awọn iwẹ ti a nilo lati ni iyipada ko si ajo ninu agbari nigbati a lo alurin. Awọn ohun elo ti o ga julọ ti akoonu eroro jẹ koko ọrọ si agbara afẹfẹ ti awọn ẹya afẹfẹ nigbati alubosa ti awọn ategun naa, ti o jẹ ki irọrun ti o wa ninu ati ita ti gbogbo awọn akitiyan wa ninu ati bibajẹ gbogbo awọn akitiyan wa.

Ni akopọ, fun Gaasi giga gaasi ati epo gaasi pataki ti epo, o jẹ pataki lati lo itọju pataki ti o ga, awọn Pipes) ni pinpin gaasi giga-giga wa ni idiyele pataki kan.

Erongba Gbogbogbo ti imọ-ẹrọ ti o mọ fun gbigbe ati pinpin pipin

Gbigbe Ọpọmọra mimọ ati mimọ ati mimọ tumọ si pe Piping tumọ si pe awọn ibeere kan wa tabi awọn iṣakoso fun awọn apakan mẹta ti gaasi lati gbe.

Awọn mimọ gaasi: Akoonu ti irú aláìrò ti o wa ninu awọn GGAS ti o wa ninu gaasi, paapaa ni ipinya iwọn didun, PPB, PPT.

Gbigbẹ: iye ti ọrinrin ti o wa ni gaasi, tabi iye ti a pe ni efe, nigbagbogbo han ni awọn ofin ti ìri iri, gẹgẹ bi titẹ titẹ ti atew -70. K.

Mimọ: Nọmba ti awọn patikulu ti koja ti o wa ninu gaasi, iwọn patiku ti μm, o tun han ni awọn ofin ti awọn iṣẹku alailabawọn, eyiti o ni awọn akoonu epo ti ko ṣee ṣe.

Ipilẹ iwọn idoti: awọn patikulu ti o daju, o kun si awọn patikulu pipinline, ati bẹbẹ lọ, ni ibamu si iwọn ọrinrin iwọn rẹ pin si

a) patikulu nla - iwọn patiku loke 5μm

b) patiku - iwọn ila opin ohun elo laarin 0.1m-5μm

c) Awọn patikulu Ultra-Micro-Micro - iwọn patiku kere ju 0.1MM.

Ni ibere lati jẹki ohun elo ti imọ-ẹrọ yii, lati ni anfani lati ni oye oye ti iwọn patiku ati awọn sipo, ṣeto ipo ipo patiku kan pato ni a pese fun itọkasi

Awọn atẹle jẹ afiwe ti awọn patiku

Orukọ / Iwọn patiku (μm)

Orukọ / Iwọn patiku (μm) Orukọ / To patiku iwọn (μm)
Kokoro 0.003-0.0.0 Aerosol 0.03-1 Makiropled aerosolited 1-12
Idahun iparun 0.01-0.1 Kun 0.1-6 Fly Ash 1-200
Erogba dudu 0.01-0.3 Orisun wara 0.1-10 Ipanilaya Unife 5-10
Resuin 001-1 Awọn kokoro arun 0.3-30 Ekuru 5-100
Mu siga musẹ 0.01-1 Iyanrin iyanrin 0.5-5 Eruku adodo 10-15
Silikoni 0.02-0.1 Ipakokoro ipag 0,5-10 Irun eniyan 50-120
Kikun iyọ 0.03-0.5 O ṣojuught esupfur 1-11 Iyanrin ti omi 100-1200

Akoko Post: Jun-14-2022