Bi ọja Semiciochoctor Secontuctor, awọn iṣedede fun mimọ ati deede ni agbara diẹ sii. Ọkan ninu awọn ifosiwewe ti o pinnu ninu didara iṣelọpọ iṣelọpọ semicocation jẹ awọn ategun ti a lo ninu ilana naa. Awọn ategun wọnyi mu ọpọlọpọ awọn ipa ni ilana iṣelọpọ, pẹlu:
Iṣakoso ilana ilana
Kontusoto
Awọn ohun-ini ohun-ini ti metallargical
Lati ṣe awọn ipayi ti o munadoko, ipese gaasi ati eto pinpin gbọdọ ṣee ṣe daradara. Apẹrẹ ti awọn eto mimu gaasi ti a lo ni iṣelọpọ Sumtontuctor lati ni atilẹyin nipasẹ awọn apejọ ti aṣa lati rii daju igbẹkẹle ati iṣelọpọ didara to gaju ti awọn emicondictors.
Awọn ategun ti a lo ni iṣelọpọ semiconductor
Ilana ti iṣelọpọ awọn obodivantors nilo lilo awọn ategun oriṣiriṣi ni awọn ipo oriṣiriṣi ti ilana naa.
Lakoko ti awọn ategun ti o wọpọ bii nitrogen, hydrogen, Argon ati Helium ati Helium le ṣee lo ni fọọmu funfun wọn, awọn ilana kan le nilo awọnpọpọ pataki. Awọn silden tabi sixanes, Hexaflunides, awọn haldide ati hydrocarbons jẹ diẹ ninu awọn ategun pataki ti a lo ni iṣelọpọ semictonctor. Ọpọlọpọ awọn ategun wọnyi le jẹ eewu eewu tabi aibalẹ pupọ, ṣiṣẹda awọn italaya ninu yiyan ati apẹrẹ ti awọn paati fun awọn ọna gaasi.
Eyi ni diẹ ninu awọn apẹẹrẹ:
\ Hydrogen ati Helium le dide ni rọọrun ati awọn eto ibaamu nitori iwọn ati iwuwo atomi ati iwuwo kekere wọn.
\ Awọn siliki ti jẹ flamy glammable ati pe o le japọ lẹẹkọkan (autoignite) ni afẹfẹ.
\ Nitrogen iyatọ ti a lo ninu idogo, etching ati awọn isopọ iwẹ iyẹwu naa di gaasi eefin eefin nigbati o jo sinu agbegbe.
\ Hydrogen fluoride (gaasi etching) jẹ corsosive pupọ si piping irin.
\ Trimethylgylgallium ati amonia le ṣe ifunni - awọn isun omi kekere ni iwọn otutu ati titẹ le ni ipa lori ilana gbigbe.
Ṣiṣakoso awọn ipo ilana lati dinku awọn ipa odi ti awọn ategun wọnyi gbọdọ jẹ akọkọ pataki lakoko apẹrẹ eto. O jẹ dọgbadọgba pataki lati lo awọn paati didara julọ gẹgẹbi awọn ohun elo itusilẹ ti Afk.
Ifojuto eto eto italaya
Awọn ategun imines imines imines ite awọn eefin imimita wa ni ọpọlọpọ awọn ọran mimọ ati pese awọn ipo Inert tabi mu ese awọn ipo ni awọn ipo oriṣiriṣi ti ilana iṣelọpọ, bii etutu ati awọn gaasi idogo. Layataini tabi kontaminesosoti ti awọn gaasi bẹ le ni awọn ipa ti awọn odi. Nitorinaa, o ṣe pataki fun awọn ohun elo eto ti a lo lati jẹ ipari ti hermetically ati pe o ni idibajẹ dibajẹ ati pe ipele ti mimọ ga julọ.
Ni afikun, diẹ ninu awọn ategun wọnyi le ni kikan tabi tutu lati ṣaṣeyọri awọn ipo ilana ti o fẹ. Awọn paati ti o wa ni tito daradara rii daju iṣakoso iwọn otutu, eyiti o ṣe pataki fun iṣẹ ṣiṣe daradara ti ọja ikẹhin.
Lati inu iṣan orisun si aaye ti lilo, ọpọlọpọ awọn paati ti o wa ni atilẹyin mimọ ti Ultra-giga, otutu, titẹ ṣiṣan ati awọn iyẹwu iwẹ.
Awọn ọna apẹrẹ ti a ṣe apẹrẹ pẹlu awọn paati didara ni Awọn Fampoctopptor Awọn Fates
Ipa ti awọn ẹya ara ẹrọ alailowaya ati Ito apẹrẹ apẹrẹ jẹ pataki ati pe iṣelọpọ ailewu ti awọn isomipọ. Awọn paati ti a lo lati jẹ onitayo ati ni-ọfẹ lati baamu awọn ipo ilana iyatọ ti iṣelọpọ awọn falifu oriṣiriṣi.afk ti iṣelọpọ
Ultra-giga mimọ
Awọn edidi-ọfẹ
Idabobo otutu ti iṣakoso idamu
Iṣakoso titẹ
Resistance resistance
Itọju ifarada elekitiro
Akoko Post: Oct-09-2023