Ohun elo itọju gaasi le mu awọn ategun ti a lo ninu awọn ilana etching ati awọn ile-iṣẹ omi kemikali, SF3, N2O, ati bẹbẹ lọ.
Ọna itọju gaasi
Gẹgẹbi awọn abuda ti itọju gaasi eefin, itọju le ṣee pin si awọn oriṣi mẹrin ti itọju:
1.
2.
3. Atọtor (ni ibamu si iru ohun elo AṣyPfi lati wo pẹlu gaasi riru omi ti o baamu).
4.plasma Iṣakojọpọ Iru (Gbogbo awọn oriṣi awọn gaasi eefa ni a le ṣe itọju).
Iru itọju kọọkan ni awọn anfani tirẹ ati awọn alailanfani ati awọn iwọn ohun elo rẹ. Nigbati ọna itọju ba wẹ omi omi, ẹrọ naa jẹ olowo poku ati rọrun, ati pe o le mu awọn eefin omi-omi nikan; Ohun elo ibiti Iru omi gbigbọ omi jẹ ga ju ti iru omi fifọ omi lọ, ṣugbọn idiyele idiyele ti ga; Iru gbigbẹ ni iṣe itọju to dara, ati pe ko wulo fun ṣiṣan gaasi ti o rọrun lati clogged tabi ṣiṣan.
Awọn kemikali ati awọn ọja-nipasẹ awọn ọja wọn ti lo ni ile-iṣẹ Semicotanctor le wa ni tito lẹtọ gẹgẹ bi awọn ohun-ini kemikali ati awọn sakani wọn ti o yatọ wọn:
1.
2. Awọn eefin majele bii Ash3, PH3, ati bẹbẹ lọ
3. Awọn ategun mimu bii HF, HCL, bbl
4. Awọn gaasi eefin bii CF4, NF3, ati bẹbẹ lọ
Niwọn igba ti awọn ategun mẹrin ti o wa loke jẹ ipalara si agbegbe tabi ara eniyan, ohun elo rẹ jẹ fi opin si awọn eefin omi gaasi kekere ti o jinlẹ nikan, nitorinaa ko le wo pẹlu pipin arekereke gigun ti omi gaasi. Nitorinaa, o jẹ dandan lati yan ati baramu ohun elo itọju gaasi ti o baamu ni ibamu si awọn abuda gaasi ti a yọ kuro lati ilana kọọkan ni ọna kekere ni ọna kekere. Bii agbegbe iṣẹ ti wa ni okeene kuro ni eto itọju gaasi aringbungbun rẹ ti o yori si peteliine ti o yori si epo-ara, paapaa fa bugbamu ti o le rii daju pe aabo iṣẹ osise. Nitorinaa, ni agbegbe iṣẹ nilo lati tunto awọn ohun elo itọju gaasi kekere ti gaasi ilana, ni ibere lati dinku gaasi eefin, lati rii daju pe a ṣe aabo gaasi.
Akoko Post: Oṣu Kẹjọ-10-2023