Awọn ohun elo imọ-ẹrọ
Awọn titẹ iyọ Max: 3000pig, 4500ppig
Iṣan titẹ titẹ: 0 ~ 30, 0 ~ 60, 0 ~ 100, 0 ~ 150, 0 ~ 250
Ohun elo paati:
Ijoko: PcTFE
Diaphragm: hastalloy
Àlẹmọ akọmalu: 316l
Ti n ṣiṣẹ iwọn otutu: -40 ℃ ~ + 74 ℃ (-40 ℉ ~ + 165 ℉)
Oṣu Karun (Helium)
Inu: ≤1 × 10 -9 MBar L / S
Ita: ≤1 × 10 -9 MBar L / S
Ciffifuzop (CV): 0.05
Ara okun:
Port ibudo: 1 / 4.pt
Ibudo ibudo: 1 / 4NTT
Iṣirọ titẹ bọtini: 1 / 4.pt